Video: Intel Mask Operation: An Inside Look at a Critical Manufacturing Step (Octombrie 2024)
După toate excluziunile despre 50 de ani de la Legea lui Moore săptămâna trecută, a existat un indiciu real că următorii pași se apropie din această săptămână, întrucât producătorul de echipamente ASML a anunțat că a ajuns la un acord pentru a vinde cel puțin 15 instrumente noi de litografie EUV. unui client fără nume din SUA, aproape sigur Intel.
Companiile cip au vorbit de ani de zile despre promisiunea litografiei ultraviolete extreme (EUV), afirmând-o ca un înlocuitor al litografiei cu imersie, care a devenit standardul în realizarea cipurilor avansate de mai bine de un deceniu. Cu litografia cu imersiune, lungimile de undă minuscule ale luminii sunt refractate printr-un lichid pentru a imprima modelele utilizate pentru a crea tranzistoarele pe un cip. Acest lucru a funcționat bine pentru mai multe generații de fabricare a cipurilor, dar în ultimii ani, pe măsură ce producția avansată de cipuri s-a mutat la nodurile 20, 16 și 14 nm, producătorii de cipuri au fost nevoiți să folosească ceea ce se numește „modelare dublă” pentru a crea tipare și mai mici pe jetoanele. Acest lucru are ca rezultat mai mult timp și mai multe cheltuieli, în crearea straturilor de cip care au nevoie de modelare dublă; iar acest lucru va fi mai greu doar la generațiile următoare.
Cu EUV, lumina poate fi mult mai mică și astfel un producător de cipuri ar avea nevoie de mai puține pase pentru a crea un strat de cip care altfel ar avea nevoie de mai multe treceri ale litografiei cu imersiune. Dar pentru ca această operație să funcționeze cu succes, astfel de mașini trebuie să poată funcționa în mod constant și fiabil. Cea mai mare problemă a fost în dezvoltarea unei surse de energie plasmatică - în mod eficient un laser de mare putere - care să funcționeze în mod constant, înlocuind astfel sursa de lumină de 193 nm comună în mașinile de imersie.
ASML lucrează la asta de ani buni, iar câțiva ani în urmă a achiziționat Cymer, compania lider care încearcă să producă sursa de lumină. Aproximativ, a primit investiții de la cei mai mari clienți ai săi - Intel, Samsung și TSMC. Pe parcurs, compania a făcut o mulțime de anunțuri cu privire la progresele înregistrate pe măsură ce a trecut de la instrumente capabile să producă câteva napolitane pe oră până mai recent, când numerele au început să se apropie de cele 100 de napolitane pe oră. va face ca EUV să fie eficientă.
ASML preferă să vorbească despre o combinație de napolitane pe zi și disponibilitate, cât timp instrumentul este de fapt în producție. În apelul său de câștig săptămâna trecută, compania a spus că obiectivul său în acest an a fost acela de a obține instrumentele pentru a produce 1.000 de napolitane pe zi, cu o disponibilitate de minimum 70 la sută; și a spus că un client a reușit deja să ajungă la 1.000 de napolitane pe zi (deși probabil că nu este la această disponibilitate). Obiectivul ASML este să ajungă la 1.500 de napolitane pe zi în 2016, moment în care consideră că instrumentul va fi economic pentru anumite aplicații.
În conferința de câștiguri de săptămâna trecută, TSMC a declarat că are în prezent două instrumente capabile să producă o plafonă medie de câteva sute de napolitane pe zi, folosind o sursă de 80 watt.
La Forul pentru dezvoltatori Intel din toamna trecută, Mark Senior Bohr, Intel Senior Fellow, a spus că este foarte interesat de EUV pentru potențialul său de a îmbunătăți scalarea și simplificarea fluxului de procese, dar a spus că, deși Intel era foarte interesat de EUV, a fost doar nu este încă pregătit în ceea ce privește fiabilitatea și fabricabilitatea. În consecință, a spus el, nici nodurile Intel nici 14nm, nici 10nm nu folosesc această tehnologie. La acea vreme, el a spus că Intel „nu a pariat pe el” pentru 7 nm și că ar putea produce cipuri la acel nod fără el, deși a spus că va fi mai bine și mai ușor cu EUV.
Știrea pare să indice că Intel consideră că EUV ar putea fi gata pentru nodul respectiv. Deși ASML nu a confirmat că Intel este clientul, nu există într-adevăr o altă firmă din SUA care ar avea nevoie de multe instrumente; iar sincronizarea ar părea să se potrivească cu nevoile de fabricație de 7nm de la Intel. Dar rețineți că anunțul a spus că două dintre noile sisteme au fost prevăzute pentru livrare în acest an, restul celor 15 planificându-se pentru mai târziu, iar Intel în sine nu a confirmat că va folosi 7nm. Probabil, Intel se poziționează astfel încât, dacă instrumentele progresează cu adevărat în ritmul prevăzut de ASML, îl pot folosi la 7 nm.
Desigur, majoritatea celorlalți mari producători de cipuri au fost și clienți ai uneltelor timpurii, iar TSMC a fost foarte vocală în ceea ce privește dorința de a avea astfel de echipamente pentru producția viitoare. Te-ai aștepta ca și alte turnării de cipuri, în special Samsung și Globalfoundries, să fie în linie și, de asemenea, și producătorii de memorie.
Între timp, s-au făcut multe speculații cu privire la utilizarea de noi materiale la nodurile noi ale procesului, cum ar fi germenul încordat și arsenida de galiu indiu. Aceasta ar fi, de asemenea, o schimbare mare față de materialele utilizate în prezent. Din nou, acest lucru nu a fost confirmat, dar este interesant.
Luate toate acestea împreună, se pare că tehnicile necesare pentru crearea de cipuri și mai dense continuă să se îmbunătățească, dar costurile de mutare la fiecare nouă generație vor continua să crească.
